早期的采用机械传动，主要由测头、三个测头支架、三个测头传动机构、计算机、工作台、工作台传动机构等组成。这种机械式的测量仪器结构复杂、操作繁琐，但是在当时的制造业中具有非常重要的地位。随着计算机技术的发展，开始逐渐应用数控技术。不仅使得三坐标测量仪的操作更加简单方便，而且提高了测量精度和效率，大大促进了工业制造的发展。随着数据采集、处理、存储技术的不断更新，数控三坐标测量仪的应用范围也越来越广泛。

       应用于大型航空航天制造、铁路、汽车工业等重大工程。相比于传统的机械式三坐标测量仪和数控三坐标测量仪，光学三坐标测量仪具有测量精度高、速度快、分辨率高等优点，使得大规模零件的精密测量变得更加容易实现。随着工业制造的发展，人们越来越需要一种能够快速、精确、方便的测量仪器。手持式三坐标测量仪的出现为此提供了新的解决方案。手持式三坐标测量仪不仅具有精准度高、操作简单、测量效率高等优点，而且适用于更广泛的现场测量任务，便于用户快速获取数据、进行分析和决策。

       随着激光技术在工业制造中的应用越来越广泛，激光三坐标测量仪也应运而生。采用激光干涉仪测量三维空间内物体点的坐标，拥有非接触式测量，高精度、高速度的特点。目前，应用主要集中在高精度、高灵敏度的测量场景中，如精密仪器件加工质检、高速列车零部件检测等领域。