压缩空气的质量直接影响三坐标测量机的正常工作及使用寿命，不理想的是气源中含有相当数量的杂质，主要分为三类，即水,油和尘；，其中大约80%在尺寸上小于2μm，空压机吸气过滤器无力消除。此外，空压机系统内部也会不断产生磨屑、锈渣和油的碳化物，它们将加速用气设备的磨损，导致密封失效或堵塞；

水份

大气中相对湿度一般高达65%以上，经压缩冷凝后，即成为湿饱和空气，并夹带大量的液态水滴，它们是管道和阀门、三坐标测量机等设备锈蚀的根本原因，冬天结冰还会阻塞气动系统中的小孔通道。值得注意的是：即使是分离干净的纯饱和空气，随着温度的降低，仍会有冷凝水析出，大约每降低10℃，其饱和含水量将下降50%，即有一半的水蒸气转化为液态水滴。

油份

压缩机类型分为活塞式，螺杆式；大部分空压机是采用润滑油来润滑和冷却其运动部件（如螺杆、活塞等）的，但污染了压缩空气。在空压机内润滑油与高温的压缩空气直接接触，压缩空气中的油污以“油滴”、“油雾(气溶胶)”和“油蒸气”三种形式存在。被从压机内带到供气系统中的油在任何情况下都没有好处。

三坐标测量机工作原理：

三坐标测量机属于精密测量仪器，采用空气轴承导向，实现导轨间无摩擦和磨损,可以保持长期的性能均匀性。高压气体通过空气轴承中细小的气孔（如下图红圈位置）进入工作面与导轨面之间,形成均匀的气隙,空气轴承的正常工作气隙在3～10μm之间。因此在压力正常的条件下,保证压缩空气的纯净度及导轨面的平面度是空气轴承正常工作的关键。

三坐标测量机配备气源处理组件，进行压缩空气的净化，是十分重要的!