三坐标测量机直接用激光干涉仪等测量单项原始误差，能以较高的精度检测到这些误差值。不足之处，是激光干涉仪价格昂贵、对环境条件要求高、对操作者的技术水平的要求也较高。

　　三坐标测量机误差检测方法可以分成两大类：一类是用激光干涉仪等仪器检测三坐标测量机的各个单项原始误差;另一类是用球列、球板等实物基准检测检测三坐标测量机的综合误差，然后分解出原始误差。

　　在分解各项原始误差时，一项重要基础是三坐标测量机本身有很好的重复性。球列、球板等实物基准需通过激光干涉仪进行检定，对球板本身的稳定性有较高要求。在由综合误差分解为单项误差时，难免有交叉影响，分解得到的原始误差的不确定度比用激光干涉仪等直接测量要大。再则，一般步距或球间距不易做得很小，不像激光干涉仪可对三坐标测量仪的各项误差进行连续检测。